Plasma state, reaction in plasmas, geration of clod plasma, plasma diagnostics, cold plasma and thin films formation, physical vapor deposition under plasma conditions, chemical-vapor deposition under plasma conditions, surface modification by cold plasma
หมายเหตุ เรียน C = Lecture L = Lab R = ประชุม S = Self Study T = ติว หมวด B = วิชาเสริมพื้นฐาน E = วิชาเลือกเฉพาะสาขา F = วิชาเลือกเสรี G = วิชาศึกษาทั่วไป M = วิชาพื้นฐาน W = วิชาบังคับ X = - ยังไม่กำหนด